InstituteSelected 0/13
    IFN, Istituto di fotonica e nanotecnologie (11)
    IFAC, Istituto di fisica applicata "Nello Carrara" (8)
    IMM, Istituto per la microelettronica e microsistemi (8)
    SPIN, Istituto superconduttori, materiali innovativi e dispositivi (5)
    ICMATE, Istituto di Chimica della Materia Condensata e di Tecnologie per l'Energia (3)
    IDASC, Istituto di Acustica e Sensoristica "Orso Mario Corbino" (2)
    ISTP, Istituto per la Scienza e Tecnologia dei Plasmi (2)
    ICCOM, Istituto di chimica dei composti organo metallici (1)
    IMAMOTER, Istituto per le macchine agricole e movimento terra (1)
    INFM, Centro di responsabilità scientifica INFM (1)
AuthorSelected 0/69
    Alberti Alessandra (12)
    Ferrari Maurizio (10)
    Righini Giancarlo (10)
    Chiasera Alessandro (9)
    La Magna Antonino (9)
    Pelli Stefano (8)
    Brenci Massimo (6)
    Nunzi Conti Gualtiero (6)
    Spinella Rosario Corrado (5)
    Verona Enrico (5)
TypeSelected 0/5
    Articolo in rivista (40)
    Contributo in atti di convegno (9)
    Presentazione (5)
    Brevetto di invenzione industriale (2)
    Rassegna della letteratura scientifica in rivista (Literature review) (1)
Research programSelected 0/14
    MD.P03.012.001, Sviluppo e diagnostica ottica e spettroscopica di materiali e strutture per la fotonica (10)
    MD.P03.001.001, Materiali e dispositivi attivi per le telecomunicazioni e la sensoristica (6)
    MD.P05.005.007, Dispositivi Integrabili in smart systems su substrati a basso costo (6)
    MD.P04.016.001, Film sottili ed elettronica degli ossidi (2)
    MD.P05.005.001, Sviluppo di metodologie avanzate per dispositivi elettronici micro e nanostrutturati (2)
    DFM.AD006.006.003, EUROFEL - ISM (1)
    DIT.AD020.001.001, EUROfusion (1)
    MD.P05.003.001, Semiconduttori innovativi per elettronica di potenza ed Rf (1)
    MD.P05.003.004, Nanotecnologie e tecnologie avanzate per elettronica integrata (1)
    MD.P05.006.001, Controllo su scala atomica dei materiali per dispositivi innovativi elettronici e fotonici basati su silicio. (1)
EU Funding ProgramSelected 0/2
    H2020 (3)
    FP7 (1)
EU ProjectSelected 0/4
    BeforeHand (1)
    EUROfusion (1)
    NARCISO (1)
    SOLAROGENIX (1)
Year
Language
Keyword

sputtering